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單晶硅對(duì)石英坩堝的要求
上傳時(shí)間:2021年04月20日 16:52:31
  沒(méi)有接觸過(guò)石英坩堝的人,是不明白單晶硅所起到的作用。下面,佑鑫石英就來(lái)為大家具體介紹下單晶硅對(duì)石英坩堝的具體要求。
  石英坩堝的幾何尺寸和外觀取決于生產(chǎn)工藝,而純度由原料確定。佑鑫石英石英坩堝原料要求純度高、一致性好,粒度分布均勻。只有原料優(yōu)質(zhì),生產(chǎn)的石英坩堝質(zhì)量才有保障。
  有害成分高時(shí),會(huì)影響石英坩堝的熔制,影響其耐溫性,還會(huì)出現(xiàn)氣泡、色斑、脫皮等現(xiàn)象,嚴(yán)重影響石英坩堝質(zhì)量。有害元素總含量高,還會(huì)產(chǎn)生氣泡、白斑等缺陷,造成石英坩堝透明度下降。
  石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿,每生產(chǎn)一爐單晶硅,就用掉一只。佑鑫石英因?yàn)閱尉Ч枋巧a(chǎn)大規(guī)模集成電路的原材料,所以對(duì)石英坩堝的要求十分苛刻。
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